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内容简介：
《光学光刻和极紫外光刻》是一本Z新的光刻技术专著，内容涉及该领域的各个重要方面。在介绍光刻技术应用上，涵盖了全面又丰富的内容；在论述光刻技术的物理机制和数学模型时，采用了完整而不繁琐的方法，增加了可读性。本书在系统地阐述了光学光刻技术的基本内容后，还专门开辟章节，介绍了最先进的极紫外光刻技术的特点和难点，揭示了极紫外光刻的技术奥秘。本书具有全面、完整、翔实和新颖的特点，它凝聚了作者三十多年光刻领域科研和教学的精华。
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书籍介绍
《光学光刻和极紫外光刻》是一本Z新的光刻技术专著，内容涉及该领域的各个重要方面。在介绍光刻技术应用上，涵盖了全面又丰富的内容；在论述光刻技术的物理机制和数学模型时，采用了完整而不繁琐的方法，增加了可读性。本书在系统地阐述了光学光刻技术的基本内容后，还专门开辟章节，介绍了最先进的极紫外光刻技术的特点和难点，揭示了极紫外光刻的技术奥秘。本书具有全面、完整、翔实和新颖的特点，它凝聚了作者三十多年光刻领域科研和教学的精华。
网站评分
书籍多样性：6分
书籍信息完全性：7分
网站更新速度：9分
使用便利性：9分
书籍清晰度：3分
书籍格式兼容性：8分
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安全性：9分
稳定性：9分
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书籍真实打分
故事情节：5分
人物塑造：5分
主题深度：3分
文字风格：4分
语言运用：7分
文笔流畅：3分
思想传递：6分
知识深度：8分
知识广度：6分
实用性：9分
章节划分：6分
结构布局：8分
新颖与独特：9分
情感共鸣：6分
引人入胜：6分
现实相关：3分
沉浸感：8分
事实准确性：7分
文化贡献：5分