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内容简介:
《等离子体放电原理与材料处理》全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理,以及工业等离子体材料处理的原理,并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积,离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用,反映本领域的最新研究进展。《等离子体放电原理与材料处理》共18章,内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体,以及气体放电的动理论等。
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书籍介绍
《等离子体放电原理与材料处理》全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理,以及工业等离子体材料处理的原理,并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积,离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用,反映本领域的最新研究进展。《等离子体放电原理与材料处理》共18章,内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体,以及气体放电的动理论等。
网站评分
书籍多样性:6分
书籍信息完全性:5分
网站更新速度:3分
使用便利性:8分
书籍清晰度:6分
书籍格式兼容性:8分
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不仅速度快,而且内容无盗版痕迹。
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差评,居然要收费!!!
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卡的不行啊
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差评。这个是收费的
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书籍真实打分
故事情节:6分
人物塑造:9分
主题深度:4分
文字风格:9分
语言运用:5分
文笔流畅:3分
思想传递:4分
知识深度:9分
知识广度:6分
实用性:3分
章节划分:6分
结构布局:6分
新颖与独特:7分
情感共鸣:7分
引人入胜:7分
现实相关:5分
沉浸感:8分
事实准确性:6分
文化贡献:6分