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内容简介：
本书介绍了微光机电系统（Nicro-Optical-Electro-mechical System,MOEMS）的国内外发展状况，微器件的结构设计与仿真，常用的微制造技术，如表面工艺、体硅工艺和LIGA工艺，封装技术等。本书的重点是介绍各种MOEMS器件，包括微力学器件、RF微器微光学器件、微流体器件以及微温度传感器和微磁场传感器等。介绍微器件时，本书从各器件的工作原理、工艺步骤、性能指标等入手，意在使读者更好地了解目前已经研制成功的各种微器件及微系统，并能在实际的工程中考虑使用。
本书可作为从事MOEMS技术应用和开发的工程设计人员，科技管理人员以及相关专业研究生的参考书。
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书籍介绍
本书介绍了微光机电系统（Nicro-Optical-Electro-mechical System,MOEMS）的国内外发展状况，微器件的结构设计与仿真，常用的微制造技术，如表面工艺、体硅工艺和LIGA工艺，封装技术等。本书的重点是介绍各种MOEMS器件，包括微力学器件、RF微器微光学器件、微流体器件以及微温度传感器和微磁场传感器等。介绍微器件时，本书从各器件的工作原理、工艺步骤、性能指标等入手，意在使读者更好地了解目前已经研制成功的各种微器件及微系统，并能在实际的工程中考虑使用。
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网站评分
书籍多样性：7分
书籍信息完全性：4分
网站更新速度：8分
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书籍真实打分
故事情节：8分
人物塑造：6分
主题深度：7分
文字风格：7分
语言运用：7分
文笔流畅：5分
思想传递：9分
知识深度：4分
知识广度：4分
实用性：3分
章节划分：3分
结构布局：8分
新颖与独特：3分
情感共鸣：4分
引人入胜：5分
现实相关：6分
沉浸感：9分
事实准确性：4分
文化贡献：7分