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内容简介：
《等离子体放电原理与材料处理》全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理，以及工业等离子体材料处理的原理，并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积，离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用，反映本领域的最新研究进展。《等离子体放电原理与材料处理》共18章，内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体，以及气体放电的动理论等。
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书籍介绍
《等离子体放电原理与材料处理》全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理，以及工业等离子体材料处理的原理，并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积，离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用，反映本领域的最新研究进展。《等离子体放电原理与材料处理》共18章，内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体，以及气体放电的动理论等。
网站评分
书籍多样性：8分
书籍信息完全性：7分
网站更新速度：5分
使用便利性：9分
书籍清晰度：8分
书籍格式兼容性：3分
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书籍真实打分
故事情节：3分
人物塑造：5分
主题深度：8分
文字风格：7分
语言运用：5分
文笔流畅：6分
思想传递：5分
知识深度：6分
知识广度：7分
实用性：8分
章节划分：6分
结构布局：3分
新颖与独特：6分
情感共鸣：5分
引人入胜：3分
现实相关：3分
沉浸感：6分
事实准确性：6分
文化贡献：9分